硅片厂家的环保措施有哪些？

硅片厂家通常会采取以下环保措施：

废气处理

• 酸性废气处理：酸洗、酸腐蚀等工序产生的酸性废气，一般采用二级碱液喷淋塔处理。通过碱液与酸性气体发生中和反应，将有害气体转化为无害的盐和水，处理后的废气通过 15m 高排气筒排放，确保氟化物、NOx、醋酸、HCl 等的排放浓度和排放速率满足相关标准。

• 碱性废气处理：清洗工序产生的碱性废气经酸液喷淋塔处理，使碱性气体与酸液中和，处理后的废气通过 15m 高排气筒排放，保证 NH3 的排放速率符合《恶臭污染物排放标准》。

• 有机废气处理：涂胶等工序产生的有机废气，常采用 UV 光氧 + 活性炭吸附处理。UV 光氧设备利用紫外线将有机废气分解为小分子物质，活性炭则进一步吸附剩余的有机污染物，处理后的废气达标排放，使非甲烷总烃排放浓度和排放速率满足相关要求。

• 硅烷废气处理：硅烷废气经燃烧塔 + 滤筒除尘器处理。燃烧塔将硅烷燃烧分解为无害的二氧化硅和水，滤筒除尘器则收集燃烧过程中产生的颗粒物，处理后的废气通过 15m 高排气筒排放，确保颗粒物排放达标。

废水处理1

• 分类收集与处理：厂区严格落实 “雨污分流、清污分流、分类收集” 措施。含氟废水采用加钙沉淀处理，使氟离子形成氟化钙沉淀去除；研磨废水经絮凝沉淀处理，去除其中的悬浮物和杂质。处理后的含氟废水、研磨废水与酸碱废水一同进入中和池，中和至中性后，再与循环冷却系统排水、纯水制备产生的浓盐水、生活污水（经化粪池处理）通过厂区总排口排至污水处理厂进一步处理。

• 达标排放：厂区总排口的出水浓度需满足《电子工业水污染物排放标准》及污水处理厂的进水水质要求，以减少对水体环境的污染。

噪声控制

• 设备选型：硅片厂家优先选用低噪声的风机、单晶炉、硅片抛光机等设备，从源头上降低噪声的产生。

• 减震隔声：对噪声设备采取基础减震措施，如安装减震垫、减震支架等，减少设备振动产生的噪声传播。同时，将设备安装在隔声罩内或采用隔声屏障，阻断噪声的传播路径。

• 定期维护：定期对设备进行维护保养，确保设备处于良好的运行状态，避免因设备故障而导致噪声增大。

固废处置

• 一般固废处理：废石英坩埚、石墨加热器、不合格硅片、硅棒、除尘器收集灰等一般固体废物，收集后暂存于一般固废暂存间，定期外售给相关企业进行综合利用或处理。污泥清理后也可外售处置。纯水制备设备中的废离子交换树脂、废反渗透膜、废活性炭由供应商更换并回收。

• 危险废物处理：废金刚线、废树脂板、废蜡、废化学品包装材料、废胶、废活性炭、废 UV 灯管、含砷锑粉尘等属于危险废物，按照《危险废物贮存污染物控制标准》的规定，在厂区内设置危险固废暂存间，分类收集暂存，定期委托有资质的单位进行安全处置，防止危险废物对环境造成污染。

• 生活垃圾处理：生活垃圾收集后清运至生活垃圾中转站，由环卫部门统一处理。

其他措施

• 做好土壤和地下水污染防治工作：落实分区防渗要求，硅片厂家对危险废物暂存间、污水处理站、事故池、初期雨水池、污水排水管道等采取重点防渗措施，防止污染物渗漏进入土壤和地下水。同时，制定并落实土壤、地下水跟踪监测计划，及时发现和处理潜在的污染问题。

• 强化环境风险防范：落实环境风险防范措施，制定突发环境事件应急预案，定期排查隐患。配备环境应急设备和物资，依托事故污染物收集系统和足够容量的事故废水收集池、初期雨水池等设施，确保事故废水不进入外环境，有效防范环境风险。